《低电压气体导电及高速高灵敏度湿敏传感器研究》PDF+DOC
作者:戴平湖,凌保明
单位:中国计量测试学会
出版:《计量学报》1997年第04期
页数:6页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFJLXB704.0020
DOC编号:DOCJLXB704.0029
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气体在电场作用下可形成导电能力。研究发现气体中微量水汽的存在对此导电能力具有极为灵敏的作用。本文阐述了低电压气体导电机理及其敏感效应。研制了一种低电压微功耗微型电极系统实现自持暗放电,使通常气体导电必需的高电压降低了一个多数量级,仅为几百伏。基于低电压气体导电机理的湿敏传感器的水汽分压强灵敏度优于1Pa/nA,反应时间优于一秒。上述结果表明:气体低湿度快速测量是实际可能的。
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