作者：宋宗炎 单位：北京长城航空测控技术研究所 出版：《测控技术》1996年第04期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFIKJS1996040010 DOC编号：DOCIKJS1996040019 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《Smart Sensor与MEMS》PDF+DOC2000年第05期 向勇,李玲霞,胡明,谢道华 《微型机电系统》PDF+DOC2000年第Z1期 周兆英,王晓浩,叶雄英,王伯雄,李莎,刘卫丹 《微米／纳米技术及其应用》PDF+DOC1996年第03期 赵玉珍,段宝岩 《微机电系统的发展与应用》PDF+DOC2003年第09期 李国厚,白林峰 《微电子机械系统/微光学电子机械系统的特性及应用》PDF+DOC2001年第04期 李萍 《多孔硅微机械加工温敏传感器的研究》PDF+DOC1998年第03期 邹平松,赖宗声 《发展中的传感器技术》PDF+DOC1995年第01期 赵志诚 《微米／纳米技术──面向21世纪的军民两用技术》PDF+DOC1995年第S1期 丁衡高 《国外传感技术研究现状》PDF+DOC1993年第03期 俞海明 ,丁辛芳 ,罗子铉 《微电子机械系统技术及其应用》PDF+DOC2002年第04期 张海涛,张斌

    • 主要介绍建立在微电子机械系统技术基础上的现代传感器技术，显示了它对改造航天、航空、军事科学与国民经济的能力与未来发展的深远影响。例举了几种典型的微机械结构传感器，并通过这些实例介绍了微电机械系统的设计与典型的微机械制造工艺技术。

    📙 相关资料

    1. 《Smart Sensor与MEMS》PDF+DOC 讨论了SmartSensor与MEMS的全新概念。结合微机械加工技术的发展，概述了现代传感器技术智能化、功能集成化的新趋势，及其对现代微电子、微型电子机械乃至整个信息技术领域的深远影响。...
    2. 《微型机电系统》PDF+DOC 分析了微型机电系统的特点、主要科学技术问题、应用和市场。预计到 2 0 0 3年微小系统的市场约为 40 0亿美元 ，是商用航空业的一半。简介了我国的研究情况。国际上微型机电系统技术刚走向全面发展 ，正是我国发展该领域的好时机...
    3. 《微米／纳米技术及其应用》PDF+DOC 介绍了当前国际上（尤其是几个发达国家）关于微米、纳米技术及其在微型机械、微型机械电子系统以及在专用集成微型仪器等方面的应用...
    4. 《微机电系统的发展与应用》PDF+DOC 微机电系统(MEMS)是当前一个发展极为迅速并涉及多个学科的领域。本文主要介绍了微机电系统的产生与发展过程，讨论了它所采用的材料和加工技术、该技术涉及的各个学科，着重阐述了器件的具体分类、结构组成、各类器件的具体特点及其在工程技术中的实际应用，并指出其发展趋势及对诸多领域的深远影响。...
    5. 《微电子机械系统/微光学电子机械系统的特性及应用》PDF+DOC 本文扼要介绍微电子机械系统和微光学电子机械系统的功能、主要产品的特性、可应用领域及未来发展趋势。...
    6. 《多孔硅微机械加工温敏传感器的研究》PDF+DOC 本文在对阳极氧化反应形成多孔硅及对多孔硅选择性生长机理、刻蚀研究的基础上，在硅片上做出到衬底距离大于５０μｍ的微桥结构。然后在微桥上溅射镍—铬电阻薄膜，形成温敏传感器微结构，并对其温度电阻特性，热响应时间进行了测量。利用该结构本文还设计出一种新型的温敏、气敏多功能传感结构。...
    7. 《发展中的传感器技术》PDF+DOC 本文从微电子机械系统、工业过程自动控制、新的功能材料及传感器集成化、小型化等方面着重阐述了国际传惑器技术的发展趋势，对今后我国传感器技术的发展有指导意义。...
    8. 《微米／纳米技术──面向21世纪的军民两用技术》PDF+DOC 微米／纳米技术──面向２１世纪的军民两用技术丁衡高（中国国防科学技术工业委员会）自微电子技术问世以来，人们不断追求越来越小、越来越完善的微小尺度结构的装置，并对生物、环境控制、医学、航空、航天、精确制导弹药、灵巧武器、先进情报传感器以及数字通信等领域..。...
    9. 《国外传感技术研究现状》PDF+DOC 本文综述了国际上八十年代以来传感技术的研究现状，指出传感技术的研究已开始深入，基础研究得到加强，集成化系统化方面的研究取得明显成果，并出现了两个跨学科的前沿方向——硅微机械加工和真空微电子学。...
    10. 《微电子机械系统技术及其应用》PDF+DOC 微电子机械系统技术的特点是可使制品微型化、集成化并以硅作为加工材料。该技术可分为体微机械加工、表面微机械加工、金属微机械加工和复合微机械加工四类。所采用的基础技术主要有：腐蚀技术、硅键合技术、多层无应力薄膜沉积技术、牺牲层技术、LIGA技术以及以上技术的复合，该项技术应用广泛。本文重点介绍在微传感器......

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。