《微电子机械技术的现状与发展》PDF+DOC
作者:赵志诚
单位:沈阳仪表科学研究院有限公司
出版:《仪表技术与传感器》1997年第06期
页数:3页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFYBJS706.0000
DOC编号:DOCYBJS706.0009
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】微电子机械技术是国际上新兴的科学前沿,它的发展会象微电子技术那样引发一场新的产业革命。本文介绍了微电子机械技术的主要工艺以及在微结构、微传感器、微执行器和微系统方面的研究进展,并对今后的研究动态进行了论述。
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