作者：温志渝,钟先信,费龙,胡松 单位：中国仪器仪表学会 出版：《仪器仪表学报》1996年第S1期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYQXB6S1.0570 DOC编号：DOCYQXB6S1.0579 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 本文系统地介绍了一种新颖的硅微机械光压力传感器系统的特殊制造工艺。在工艺实验的基础上，对硅微弹性膜、获取传输光信息的ＳＩＯ。一ＳＩＯＮ—ＳＩＯ。条形光彼导、光电探测器、金属布线以及传感器的一体化等工艺技术进行了较深入的研究，并对实验结果进行了分析讨论，提出了有效的工艺方法，为这类微型光机电传感器系统的集成化研究打下了较好的实验基础。

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