作者：李庆祥,徐毓娴,薛实福,刘永生 单位：中国仪器仪表学会 出版：《仪器仪表学报》1996年第S1期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYQXB6S1.0400 DOC编号：DOCYQXB6S1.0409 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 本文介绍了力传感器微机械加工工艺路线，对ＫＯＨ腐蚀硅的硅膜厚度控制进行了实验研究，以ＳＩＯ２为掩膜，ＳＦ６刻蚀硅，实现了悬臂梁探针一次成形，并用湿法腐蚀对探针进行初步锐化，针尖半径约５０ｎｍ。

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