《硅微机械结构的微电流型电化学气体传感器》PDF+DOC
作者：周仲柏,吴青海,刘炯权
单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所
出版：《传感器与微系统》1996年第05期
页数：4页 （PDF与DOC格式可能不同）
PDF编号：PDFCGQJ605.0050
DOC编号：DOCCGQJ605.0059
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探索研究了用于构制以硅为基体材料、具有特定三维微结构的微电流型电化学气体传感器的微加工工艺，提出了双面光刻、高硼掺杂腐蚀止停、化学各向异性刻蚀和硅表面多层膜剥离成形等既实用而又相容的硅微机械加工关键技术。如此构制的微电流型电化学气体传感器，在器件结构、检测灵敏度、电流响应的稳定重现性等方面，与用传统工艺制成的常规电流型气体传感器相比，具有独特的优点。
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