作者: 单位:北京信息科技大学 出版:《传感器世界》1996年第09期 页数:1页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFCGSJ1996090140 DOC编号:DOCCGSJ1996090149 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
  • 美国专利US 5,424,561 由美国Kobe钢厂的研究人员Bradley Fox拥有,利用CVD技术及金刚石的优越电品质制作高温磁场计和金刚石-硅器件.我们通常所熟知的是高带隙(5.5e V)和高工作温度(900℃)金刚石膜片,但要在硅或其它基体上制作高导向性金钢石膜片却十分困难.而上述专利却很容易地解决了这个问题.利用CVD技术生成的膜片含90%以上的晶体板,形状类似模盘上的方格.虽然Fox还未得到单晶材料,但这种高度定向为传感器的发展开辟了一条新路,只用硅的霍尔效应磁场计在120℃左右开始失效,而经特殊土封装的

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