作者：朱海军,陈宏,鲍敏杭 单位：中国科学院半导体研究所;中国电子学会 出版：《Journal of Semiconductors》1997年第07期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTX1997070060 DOC编号：DOCBDTX1997070069 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 一般微机械加工的梁──岛结构加速度传感器，梁的平面都是与器件平面平行的，因此只能测量器件平面法向的加速度分量．我们提出了一种制作梁平面与器件平面相垂直的梁──岛结构的微机械加工方法，并用以设计和制造了一种可测量平行于器件平面的加速度分量的横向加速度传感器，为研制三维加速度传感器提供了新思路．

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