作者：王长安,徐重阳,周雪梅,赵伯芳,邹雪城 单位：中国电子科技集团第四十四研究所 出版：《半导体光电》1996年第01期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTG601.0140 DOC编号：DOCBDTG601.0149 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 研究一种新型的非晶硅ＰＩＮ异质结集成型色敏元件及其传感器的制备工艺和结构，详细讨论了色敏元件的优化设计以及响应特性、暗电流等性能。实验结果表明，采用ａ－ＳｉＣ／ａ－ＳｉＰＩＮ异质结构和分离反应室的ＰＥＣＶＤ工艺，使色敏元件的灵敏度和暗电流特性得到了明显的改善。利用这种色敏元件及其传感器可以实现高精度的颜色识别。

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