作者：朱作云,李跃进,王文襄 单位：西安电子科技大学 出版：《电子科技》1997年第01期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFDZKK1997010050 DOC编号：DOCDZKK1997010059 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 用微机械加工技术开发出一种微型方杯压阻式压力传感器。文中介绍了微型压力传感器的设计思想和研制工艺中的关键技术，并给出了该传感器的参数。测试结果表明该传感器的主要性能已达到国内先进水平。

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