作者：能斌,陆德仁,王渭源 单位：中国科学院上海微系统与信息技术研究所;中国材料研究学会 出版：《功能材料与器件学报》1996年第03期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGNCQ603.0110 DOC编号：DOCGNCQ603.0119 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 本文报导了悬桥式微流量传感器的制作以及特性测试，这种传感器采用硅微机械加工技术在硅片上制作微悬桥，微悬桥由二氧化硅、ＬＰＣＶＤ多晶硅、ＬＰＣＶＤ氮化硅三明治结构材料组成。该传感器可测量０．０１～１００ＳＣＣＭ的气体流量，其响应时间小于１０ｍｓ，芯片尺寸为７&#215；６ｍｍ２。

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