《压阻型α((6H)碳化硅压力传感器可在高达600℃的高温下工作》PDF+DOC
作者:Roger Allan
,晓萍
单位:美国国际数据集团
出版:《电子产品世界》1997年第02期
页数:1页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFDZCS1997020370
DOC编号:DOCDZCS1997020379
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新泽西州Leonia的Kulite Semi-conductor Products公司的研究人员研制成功一种基于膜片的压阻碳化硅(SiC)压力传感器,其工作温度可能超过600℃。这么高的温度范围远超过目前的常规硅传感器。KuliteSemiconductor Products公司首批生产的传感器工作于室温至350℃,但开发小组确信,它们可能工作于600℃。这一温度高于硅pn结隔离的压敏电阻的温度上限(175℃)和绝缘层上硅(SOI)传感器的温度上限(500℃)。
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