作者：管玉国,戴国瑞,南金 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》1997年第02期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ1997020150 DOC编号：DOCCGQJ1997020159 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 采用PECVD方法，分别注积了SnO2-Fe2O3、SnO2-TiO2-Fe2O3等双层和三层气敏薄膜材料，制成了旁热式传感器。实验结果表明，这种多层结构的元件对乙醇有很高的灵敏度与选择性。

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