《用于压力传感器的石英谐振膜片》PDF+DOC

📙 相关资料

1. 《组装式石英谐振传感器工作寿命探讨》PDF+DOC 通过对组装式石英谐振压力传感器解剖，分析影响传感器工作寿命的主要因素，并对其深入探讨，提出改善传感器工作寿命的具体措施。...
2. 《石英谐振式力传感器及其稳定性的研究》PDF+DOC 介绍了一种高精度石英谐振式力传感器，对敏感器件——谐振器、膜片及力传递系数进行了研究、设计与计算，从理论到实验对传感器的稳定性进行了研究，指出增加谐振器厚度及改善谐振器支撑条件均可提高传感器的稳定性和临界载荷。...
3. 《差动式石英谐振力传感器》PDF+DOC 】利用ＡＴ切型的厚度剪切石英晶体谐振器沿不同方向施加外力时，将会获得不同的灵敏度这一特点，本文研究了一种新型的差动石英谐振式力敏传感器。将两个同频率的敏感石英谐振器以对称简支方式固定在传感器内，使外力分别沿两个敏感谐振器的ｘ轴和ｚ′轴作用，产生两个方向相反的频率变化，通过电路混频，形成差动输出。分析......
4. 《高精度高分辨数字石英压力传感器》PDF+DOC 本文详细介绍了高精度高分辨数字石英压力传感器的原理、结构和性能。...
5. 《谐振膜压力敏感元件的频率特性》PDF+DOC 本文讨论了用于谐振压力传感器的谐振膜的频率特性。文中导出了谐振膜的非线性运动微分方程式(式中含有弯曲应力、中面张力和浅壳的影响)，并用变分法求得近似解。求得的理论压力-频率特性与实验结果有较好的符合。...
6. 《国外石英谐振传感器发展现状》PDF+DOC 一、概述石英谐振传感器具有灵敏度高、精度高、环境适应性强、功耗低、寿命长和数字读出等优点。数字传感器具有抗干扰能力强、适宜远距离传输不需要模数转换装置等特点，所以，石英谐振传感器在国际上发展很快，已广泛用于测量压力、差压、荷重、膜厚、温度、液位、加速度、湿度和露点等。石英谐振传感器的核心部件是石英谐......
7. 《石英晶体谐振式绝对压力传感器研制》PDF+DOC 介绍了一体化石英谐振式压力传感器的研制，采用石英晶体材料制做弹性膜片，用音叉式石英力敏谐振器检测压力，减少了传感器的体积，降低了制造工艺难度。研制的传感器量程为0~120 kPa，中心频率为(40&#177；4)kHz，精度为0.05%。...
8. 《一种基于谐振原理的微型压力传感器设计》PDF+DOC 设计了一种结构简单的微型石英谐振式压力传感器，该传感器芯片由力学转换元件、谐振敏感元件和支撑元件3部分构成。仿真分析了压力100kPa内传感器输出频率与输入压力的关系，经线性拟合后得出其最大相对非线性误差为0.09%。采用石英深槽湿法腐蚀的方法加工出了芯片3个元件结构，并经镀膜及键合等后工序制作出了......
9. 《厚膜压力传感器》PDF+DOC 在柔性塑料膜上印刷厚膜元件可以制作廉价微型压力传感器。对敏感膜片的两种动作方式进行了研究。第一种方式是将碳聚合物电阻印刷在膜片上，电阻值根据压阻效应而发生变化。第二种方式是将一块导电板印刷到膜片上，构成电容器的一...
10. 《国外展望》PDF+DOC 工作温度达400℃的压力传感器塑料工业用的压力传感器，在质量和可靠性方面的要求越来越高。为满足这一需要，西德 MEKO—技术有限公司推出压力范围为100～1400巴的 SP821型压力传感器和膜片与测量系统之间装有可弯曲的铠装细管的 SP820型传感器。SPT822型除测量压力外，同时还可以通过拉出......