《原子力显微镜传感器的微机械加工技术的研究》PDF+DOC
作者:薛实福,徐毓娴,李庆祥,王晓晔,刘永生,于水
单位:中国科学院长春光机所;中国仪器仪表学会
出版:《光学精密工程》1997年第02期
页数:7页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFGXJM702.0070
DOC编号:DOCGXJM702.0079
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分析了现有的AFM力传感器的工艺特点及问题。在此基础上研究用KOH溶液两步法P+自停止腐蚀制作厚度精确可控的单晶硅悬臂梁;以SiO2为掩模,SF6刻蚀硅,用RIE与各向同性湿法化学腐蚀相结合使悬臂梁探针一次成形和用湿法腐蚀锐化探针,针尖半径约50nm。制定了适于批量生产的AFM力传感器加工工艺。
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