作者：高鹏,姚英学,袁哲俊 单位：中国微米纳米技术学会;东南大学 出版：《传感技术学报》1997年第02期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGJS1997020050 DOC编号：DOCCGJS1997020059 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 简介纳米压痕系统的基本原理及其关键部件施载传感器和扫描传感器的设计方法。最后，阐述施载/描扫集成结构的实现。

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