《应用于超精密测量的电容传感器》PDF+DOC
作者:吴宇列,解健,李圣怡
单位:北京航空精密机械研究所
出版:《航空精密制造技术》1997年第06期
页数:3页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFHJZJ1997060040
DOC编号:DOCHJZJ1997060049
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针对用调频测量法的电容传感器在实际使用中存在的体积大,漂移大等问题提出了一系列的解决办法,并对改进后的传感器进行长短期稳定性实验及标定。实验结果表明,在体积大大减少的情况下,分辨率及稳定性都保持相当好的水平,同时也给出了一种测量传感器输出频率的新颖的高速计数电路。
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