作者：张仲平,李华军,王文襄,曹滨冬 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》1997年第06期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ1997060150 DOC编号：DOCCGQJ1997060159 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 为战场救护用的便携式呼吸机开发了一种量程为2kPa的小型微压传感器．为减小尺寸及冲击振动的影响，采用了微机械加工的方形平膜结构和梁膜复合结构。两种设计均能满足使用的要求．

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