《半导体高温压力传感器的研究》PDF+DOC
作者:毛赣如,姚素英,曲宏伟,张维新
单位:北京长城航空测控技术研究所
出版:《测控技术》1996年第02期
页数:4页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFIKJS1996020050
DOC编号:DOCIKJS1996020059
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,刘通
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介绍多晶硅压力传感器,由于采用二氧化硅介质膜作应变电阻之间的隔离,因而提高了传感器的工作温度。实验表明,该类传感器具有灵敏度高、精度高、温度特性好、工作温限高等特点。
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