作者：赵正平 单位：中国仪器仪表学会 出版：《仪器仪表学报》1996年第S1期 页数：2页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYQXB6S1.0190 DOC编号：DOCYQXB6S1.0199 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 红外电子隧道传感器的现状及发展趋势赵正平（电子部十三所）传统位置传感器向小型化方向发展时遇到一个严重的挑战，即伴随着几何尺寸的减小，其灵敏度下降。在八十年代末到九十年代初，一种全新类型的位置传感器诞生并发展起来；将微机械加工的硅结构与基于电子隧道效应..。

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