作者：张维新,毛赣如,姚素英,曲宏伟 单位：天津大学 出版：《天津大学学报(自然科学与工程技术版)》1996年第03期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFTJDX603.0250 DOC编号：DOCTJDX603.0259 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 研制一种多晶硅压力传感器．它采用一氧化硅介质膜隔离代替ｐ－ｎ结隔离，提高了工作温度；通过控制掺杂浓度，改善了温度特性．实验表明，该传感器灵敏度高，工作温限高，温度漂移小．

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