作者：张维新,毛赣如,曲宏伟,姚素英,李建文 单位：中国科学院半导体研究所;中国电子学会 出版：《Journal of Semiconductors》1996年第06期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTX606.0060 DOC编号：DOCBDTX606.0069 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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