《用于传感器的声表面波谐振器耦合模理论研究》PDF+DOC
作者:戴恩光,冯冠平
单位:中国电子学会
出版:《电子测量与仪器学报》1997年第04期
页数:6页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFDZIY1997040020
DOC编号:DOCDZIY1997040029
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本文主要研究声表面波耦合模理论在声表面波谐振器中的应用。本文结合声表面波谐振器的特点,对谐振器表面沉积介质薄膜后引起器件结构参数的变化进行了分析,为研究基于SAW谐振器的传感器提供了一种方法。
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