《扩散硅压力传感器及其温度补偿》PDF+DOC
作者:陈曦
单位:中国仪器仪表学会;上海工业自动化仪表研究院
出版:《自动化仪表》1997年第03期
页数:5页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFZDYB1997030100
DOC编号:DOCZDYB1997030109
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讨论了扩散硅压力传感器及其温度补偿问题,给出了压力传感器模拟补偿和基于微处理器迸行数字补偿的一般方法。数字补偿方法可将压力传感器的精度提高到 0.05%~01% FS。
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