《厚膜集成压力传感器的研制》PDF+DOC
作者:马以武,刘高升,常慧敏,黄英,斯培新,王宁
单位:沈阳仪表科学研究院有限公司
出版:《仪表技术与传感器》1997年第04期
页数:3页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFYBJS704.0040
DOC编号:DOCYBJS704.0049
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通过厚膜力敏工艺技术和厚膜混合集成技术的结合,研制成功厚膜集成压力传感器,能直接和显示仪表连接。为传感器的集成化作了有益的尝试,具有广阔的研究开发前景。
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