作者：姚素英,毛赣如,曲宏伟,张维新 单位：天津大学 出版：《天津大学学报(自然科学与工程技术版)》1997年第03期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFTJDX703.0040 DOC编号：DOCTJDX703.0049 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 介绍了多晶硅压力传感器的温度特性．重点研究了ＬＰＣＶＤ&#183；Ｐｏｌｙ－Ｓｉ膜的掺杂浓度对传感器温度特性的影响．通过理论分析和实验研究，找到了实现传感器温度自补偿的最佳掺杂浓度值．获得了工作温度高、温度特性好的压力传感器．实验结果与理论分析相符．

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