作者：李蓉芳 单位：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 出版：《光机电信息》1996年第04期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGJDX1996040130 DOC编号：DOCGJDX1996040139 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 在乌克兰的基辅一家小型企业“CE-HCOP”的O.M.等研究用于测量微小气压降的微电子传感器.他们探讨了高灵敏度微电子热线风速测量传感器的性能，它是用薄膜工艺制作的.传感器能测量在0.004—1500Pa范围的小气压降，或10~(-4)—40ml/s的气流速度.专门研制的传感器仪表模拟变换器在7ms动作速度下，保证在微小气压降区的灵敏度在120mV/Pa水平.自动化的动态工作台使得能够在0.1—500Pa范围内校准传感器。

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