《TiO_2薄膜型气体传感器研究进展》PDF+DOC
作者:姜涛,吴一平,陈建国,胡一帆,孙培祯
单位:中国航发北京航空材料研究院
出版:《材料工程》1996年第05期
页数:4页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFCLGC1996050080
DOC编号:DOCCLGC1996050089
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综述了国内外TiO_2气体传感器的发展状况、工作原理以及不同类型的TiO_2传感器。徽电子加工技术和薄膜技术的引人,为实现气体传感器小型化、集成化、高灵敏度化提供了重要手段。
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