《硅加速度传感器的新技术》PDF+DOC
作者:方佩敏
单位:中国电子报社
出版:《电子设计技术》1997年第03期
页数:2页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFDZSJ1997030080
DOC编号:DOCDZSJ1997030089
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《一种加速度传感器信号处理电路》PDF+DOC1998年第05期 李相伟,吕月娥,段新昱,崔金玲
《相位型宽频带激光测振系统》PDF+DOC1999年第03期 徐敏,游艺锋,卓永模,牟旭东
《相位型宽频带激光测振仪的研究》PDF+DOC1998年第10期 徐敏,游艺锋,卓永模,牟旭东
《气流式加速度传感器的研究》PDF+DOC1996年第06期 吴建义,张福学,任宏超,缪旻
《火箭发动机推力瞬变的测量》PDF+DOC1982年第04期 D.S.Dean,张峻城
《高量程加速度计的力学性能分析》PDF+DOC2002年第04期 王钻开,宗登刚,陆德仁
《振动主动控制中的三个问题》PDF+DOC2001年第01期 王加春,李旦,董申
《MEMS低量程微加速度计的设计》PDF+DOC2011年第03期 郭涛,林大为,向婷
《基于加速度计的振动形态监测系统的设计》PDF+DOC2014年第01期 张欣恺,刘文泉,史俊,杜亚宁,于薇
最新的硅加速度传感器是采用三维微细加工工艺制成的半导体器件。它包括敏感部分、电桥部分及信号处理部分,它代表当代硅加速度传感器的新技术。第二次世界大战时期,飞机上装备的加速度计是由一个能在框架里移动的质量块及两根弹簧组成,其结构示意图如图1所示。在飞行方向有加速度时,质量块在框架里移动,移动的距离与加速度成比例,由指针来指示:若用电位器的
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