《陶瓷厚膜力敏传感器》PDF+DOC
作者:常慧敏,马以武,戈瑜
单位:中国仪器仪表学会;上海工业自动化仪表研究院
出版:《自动化仪表》1997年第12期
页数:6页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFZDYB1997120040
DOC编号:DOCZDYB1997120049
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介绍采用厚膜工艺技术制作陶瓷力敏传感器,详细叙述圆膜片式压力传感器和陶瓷双孔梁式力传感器的工作原理、主要性能、结构设计、制作工艺,展望其应用前景。
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