作者：陶锡有 单位：中国空气动力学会 出版：《实验流体力学》1997年第02期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFLTLC1997020110 DOC编号：DOCLTLC1997020119 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 测量脉动压力用压阻式压力传感器，通过有限元应力分析求得灵敏度高、线性又好的双岛硅膜片结构；采用双面对准光刻工艺，各向异性腐蚀微机械加工制硅膜片等新技术。最后给出了脉动压力传感器的动、静态性能指标。

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