作者：赖宗声,王新君,王云珍 单位：华东师范大学 出版：《华东师范大学学报(自然科学版)》1997年第02期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFHDSZ1997020060 DOC编号：DOCHDSZ1997020069 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 多孔硅的形成和刻蚀技术是一项新型的表面微机械加工技术，我们以多孔硅为牺牲层，利用多孔硅的选择性生长机理，以及利用在高阻衬底上横向形成速率大于纵向形成速率的特点，得到了距衬底很深的微桥、微梁、微沟道等微结构，并设计研制了一种绝热式量热传感器。

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