《传感器技术的现状与未来》PDF+DOC

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5. 《阀片式硅微流量传感器的研究》PDF+DOC 提出了一种结构简单、易于加工的阀片式硅微流量传感器。该微流量传感器通过阀片将流量转换为梁表面弯曲应力，再由集成在阀片上的压敏电阻桥检测出流量信号。该传感器采用硅微细加工工艺制作，直接在单晶硅上加工出阀片和压敏电阻桥。该微流量传感器芯片尺寸３ ．５&#215；３．５（ｍ ｍ） ，封装后的外形尺......
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