作者：夏善红,刘加,陈绍凤,韩泾鸿,崔大付 单位：中国科学院半导体研究所;中国电子学会 出版：《Journal of Semiconductors》1997年第12期 页数：7页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTX1997120030 DOC编号：DOCBDTX1997120039 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 本文提出并研究了新型的“台阶阴极”和“曲面阴极”真空微电子压力传感器，与普通的真空微电子压力传感器相比，新型传感器的阴极发射电流大大提高，使得输出信号易于检测，抗噪声能力增强，并在改善输出信号线性、提高灵敏度和扩展量程方面有很大优势．本文绘出了计算机模拟结果，简述了台阶阵列阴极和阳板压力敏感膜的制作，并展示了SEM照片．

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