作者:温志渝,江永清,蒋子平,胡松 单位:中国电子科技集团第四十四研究所 出版:《半导体光电》1997年第06期 页数:4页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFBDTG706.0130 DOC编号:DOCBDTG706.0139 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《一种频率选择压阻硅振动传感器》PDF+DOC1988年第01期 李华 《微硅加速度传感器的发展》PDF+DOC1999年第04期 孟军,茅盘松 《集成硅微机械光压力传感器》PDF+DOC1995年第03期 温志渝,费龙 《集成多晶硅悬臂梁振动传感器的设计》PDF+DOC1987年第Z1期 朱秀文 《三维微力探针传感器技术研究》PDF+DOC2009年第02期 王鑫垚,吴伟,林启敬,赵玉龙 《压阻式新型矢量水听器设计》PDF+DOC2006年第05期 陈丽洁,杨士莪 《微机械加工硅电容式加速度传感器》PDF+DOC2001年第01期 李跃进,杨银堂,朱作云,马晓华,陈锦杜 《新型柔性触觉传感器阵列结构设计及仿真研究》PDF+DOC2008年第11期 黄英,黄攀峰,王磊,明小慧,葛运键 《无需预先测速的长方体监测网络声发射源三维解析定位方法(英文)》PDF+DOC2015年第01期 董陇军,李夕兵,周子龙,陈光辉,马举 《应用光纤传感器在线监测动车组齿轮箱和万向轴的探讨》PDF+DOC2013年第01期 魏永久,刘盛春
  • 提出了一种结构新颖的硅微选频振动传感器阵列,这种传感器是由一系列具有一定谐振频率的硅悬臂梁、扫描电路和MOS开关等组成。它是利用半导体集成电路工艺技术与硅的各向异性腐蚀相结合的方法混合集成在一块三维硅基体上的。介绍了这种传感器的结构、工作原理与关键的研制工艺,同时给出了实验结果

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