作者：Janusz Bryzek 单位：北京信息科技大学 出版：《传感器世界》1997年第03期 页数：10页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGSJ1997030010 DOC编号：DOCCGSJ1997030019 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《微机械元件和仪器的新进展》PDF+DOC2000年第05期 邵培革,王立鼎 《微机械元件和仪器新进展》PDF+DOC1999年第01期 邵培革,王立鼎,任延同 《微电子机械系统》PDF+DOC1995年第10期 王跃林,苏以撒,王文 《MEMS传感器现状及应用》PDF+DOC2015年第04期 武金亮,周琦,高晓宇,胡梦晴,秦东林 《日本基于MEMS传感器的研究进展》PDF+DOC2004年第01期 焦正,吴明红 《集成微机械传感器的最新进展》PDF+DOC2000年第03期 《微机械薄膜的设计和制造》PDF+DOC1999年第03期 李立杰 《第六届国际固态传感器与执行器会议介绍》PDF+DOC1991年第05期 鲍敏杭 《高精度4英寸硅片腐蚀装置》PDF+DOC2004年第05期 刘沁,匡石,张纯棣,李民 《微电子机械系统的研究进展》PDF+DOC2001年第01期 李炳乾,朱长纯,刘君华

    • 现在人们对高技术谈论最多的莫过于MEMS-微电子机械系统.MEMS实际上意味着一种能力，即利用IC技术研制可控的、机械式可动结构.目前该项技术商业化最成功的例子是微机械压力传感器.传感器，尤其是压力传感器主要用作临界状态监测，确定传感器的可行性.因此，传感器通常有一种重要的平衡因素，即传感器本身生产成本应低于其所构成系统成本几个数量级.例如，对于一辆价值2.5万元的汽车，为保证其燃料有效利用、降低空气污染所使用的传感器价格应在10美元左右.最早的硅压力传感器价格昂贵，只能用于一些特殊的领域如航空，而在近十年，硅微机械加工生产技术的进步开辟了许多新的低成本市场。

    📙 相关资料

    1. 《微机械元件和仪器的新进展》PDF+DOC 微机械元件和微机械仪器，适于大批量生产，具有成本低廉、性能优良和体积微小及集成度高的特点。近十年来，在研制、开发及市场扩大方面取得了巨大的进展，展现了美好的前景。...
    2. 《微机械元件和仪器新进展》PDF+DOC 微机械元件和微机械仪器，适于大批量生产，具有成本低廉、性能优良和体积微小及集成度高的特点，近十年来，研制、开发及市场扩大方面取得了巨大的进展，展现了美好的前景。...
    3. 《微电子机械系统》PDF+DOC 本文对国外微电子机械系统（ＭＥＭＳ）的研究现况作了评述。介绍了ＭＥＭＳ的主要技术和它的应用情况，对国外的一些主要研究机构的情况进行了分析，最后就我国ＭＥＭＳ的发展提出了一些建议。...
    4. 《MEMS传感器现状及应用》PDF+DOC 随着我国科技的不断进步，MEMS传感发展迅猛，在各个领域内得到广泛应用。再次情况下，本文阐述了MEMS技术的特点，分析了其在各领域内的具体应用情况，并对MEMS传感器的发展趋势进行了展望。...
    5. 《日本基于MEMS传感器的研究进展》PDF+DOC 本文综述了近年来日本基于MEMS的传感器在企业和高校的研究进展，简述了各类MEMS传感器的结构特点与微机械加工技术，对我国MEMS传感器的研究与发展将有很大的借鉴作用。...
    6. 《集成微机械传感器的最新进展》PDF+DOC 微机电系统(MEMS)的迅速发展改变了设计者观察硅基微机械部件的方法。将这些结构同调整和处理电路、校准存储、与外界接口等结合起来的种种努力，现已到了收获季节。集成更多的片上功能已获得部分成功，显示这种想法的商业可行性。有趣的是，一些设计者已在致力于下一代集成硅传感器，使最新...
    7. 《微机械薄膜的设计和制造》PDF+DOC 介绍了微机械薄膜和各向异性刻蚀的理论和特点，叙述了微机械薄膜的设计方法和试验结果。...
    8. 《第六届国际固态传感器与执行器会议介绍》PDF+DOC 上海复旦大学鲍敏杭教授是中国出席第六届国际固态传感器与执行器会议的代表。这篇文章介绍了会议的一般情况，世界各国传感技术的发展动向，对微电子机械系统也作了较详细介绍。...
    9. 《高精度4英寸硅片腐蚀装置》PDF+DOC 高精度4英寸硅片腐蚀装置是采用微机械制造技术(MEMT)和微电子机械系统(MEMS)制造硅传感器的关键设备之一。它采用计算机智能控制，一次可自动完成多片4英寸硅片的各向异性腐蚀，无需人工控制，腐蚀一致性好、效率高。结合攻关项目的研究成果重点介绍了高精度4英寸硅片腐蚀装置的主要技术指标、腐蚀机理、工艺......
    10. 《微电子机械系统的研究进展》PDF+DOC 本文从微电子机械系统 (MEMS)的基本加工技术和MEMS器件等方面介绍了MEMS的发展过程；综述了国内外MEMS加工技术 ，特别是新型MEMS器件与系统方面的最新研究进展 ，介绍了欧美日等发达国家和我国为MEMS的发展所作的努力 ，提出了“只有产业界及时介入才是中国MEMS研究的唯一出路”。...

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。