作者：刘昆,王洪业 单位：中国微米纳米技术学会;东南大学 出版：《传感技术学报》1996年第03期 页数：7页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGJS1996030000 DOC编号：DOCCGJS1996030009 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 针对薄膜应变片在圆平膜片上的两种基本布置方式，导出了平膜片式薄膜压力传感器的线性度和灵敏度的实用计算公式，分析了膜片的厚径比、薄膜应变片在膜片上的布置方式和位置对传感器的线性度与灵敏度的影响.给出了部分研制的薄膜压力传感器的线性度和灵敏度的实测结果与理论计算结果的比较。

    📙 相关资料

    1. 《圆平膜片压力传感器线性度的计算机模拟》PDF+DOC 文章在全面考虑横向和纵向灵敏度系数对压力传感器线性度影响的基础上，给出了圆平膜片压力传感器在两种薄膜应变片基本布置方式下传感器灵敏度的实用计算公式。虽形式上比较复杂，但计算结果更接近薄膜压力传感器的实际情况，适合于用来对敏感膜片进行线性度的优化设计。...
    2. 《圆平膜压阻式力传感器的线性度与灵敏度分析》PDF+DOC 对圆平膜压阻式力传感器的线性度与灵敏度进行了比较详细地刨析。并通过计算，列举大量数据，指出影响压力传感器的线性度与灵敏度的因素及提高压力传感器的线性度与灵敏度的有效途径。...
    3. 《平膜片式压力传感器的非线性及其改善方法》PDF+DOC 分析了导致平膜片式压力传感器非线性的三个因素：弯曲应变、薄膜应变以及电桥输出非线性，导出了该传感器的输出特征函数，进而通过非线性工作区的分析得出传感器非线性最小的设计方法。...
    4. 《微机械薄膜的设计和制造》PDF+DOC 介绍了微机械薄膜和各向异性刻蚀的理论和特点，叙述了微机械薄膜的设计方法和试验结果。...
    5. 《薄膜应变片与传感器》PDF+DOC 为了克服金属箔式应变片应变灵敏系数低及滞后、蠕变大的缺点，最近二十多年来，传感器技术界的研究重点是寻找一种价格便宜、能替代传统金属箔式应变片的新型传感元件.各种金属或合金及半导体、氧化物的薄膜应变片，由于其由真空蒸发、溅射、化学气相淀积或等离子气相淀积等工艺制成，因而具有几乎没蠕变、滞后等理想特性，......
    6. 《薄膜压力传感器研究》PDF+DOC 本文阐述了以合金薄膜作敏感电阻的应变式压力传感器的原理、设计方法和工艺技术、分析了各工艺参数对传感器质量的影响，通过试验，提出了一套最优工艺实现方案。研制的薄膜压力传感器性能测试结果表明：这种形式的压力传感器稳定性好，迟滞、蠕变小，是一种很有发展前途的传感器。...
    7. 《小量程压力传感器圆形平膜片的设计计算——兼和裴锡安同志商榷》PDF+DOC 本文明确给出了传感器圆形平膜片的计算公式以及这些公式的假设条件，同时给出了薄膜的计算公式，明确指出了膜片和薄膜，小挠度和大挠度板的区别，指出提高膜片的线性主要在于结构的合理设计，对《应用钛合金提高小量程压力传感器精度》一文的理论分析提出了不同看法。...
    8. 《膜片式气体压力传感器的研究》PDF+DOC 膜片式气体压力传感器(以下简称膜片式压力传感器)可将气体压力信号转换为电压信号。主要用于测试植保风机的性能参数——风室集流器压力和风机进风压力，同时也可以测量与本传感器量程相符、使用环境相适应的其它气体压力。按被测压力不同设计有H_1型和H_2型两种。...
    9. 《平膜片式压力传感器有限元分析》PDF+DOC 本文用有限元方法分析平膜片式压力传感器弹性元件表面径向应变及切向应变与薄膜应变片阻值变化的联系后 ，根据电桥原理得到与其输出电压之间的关系 ，最终并分析了传感器之非线性精度 。...
    10. 《膜片式光纤光栅压力传感器的灵敏度分析》PDF+DOC 在理论推导光纤光栅压力传感器的灵敏度的基础上，采用结构增敏方法，设计并研制出了一种实用型高灵敏度的膜片式光纤光栅压力传感器，并用液压法对传感器的灵敏度进行了实验研究。实验结果表明，该高灵敏度膜片式光纤光栅压力传感器的反射波长移动量与膜片载荷(或水柱高度)成正比，其线性度达到0.9999，压力灵敏度系......

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。