《高精度硅压力传感器》PDF+DOC

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2. 《一种MEMS高温压力传感器》PDF+DOC 基于硅压阻效应，利用微电子机械系统(MEMS)技术，研制了一种可用于多种领域的高温绝压压力传感器。为了达到耐高温的目标，传感器芯片采用绝缘体上硅(SOI)硅片加工，并利用有限元软件ANSYS对传感器芯片结构进行了应力仿真分析。同时，对传感器的电阻结构、金属布线系统、传感器支撑层键合技术及流片工艺进行......
3. 《基于扩散硅压阻压力传感器的压差测量》PDF+DOC 在力或压力(压强)传感器中，金属电阻应变片精度较高、性能较为稳定，被广泛应用。不过，这类传感器存在灵敏系数小的缺点，为了克服这一缺点，半导体应变片随之出现。用半导体材料制作而成的应变片称为压阻式传感器，其中，扩散硅压阻式压力传感器因具有频率响应高、精度高、灵敏度高、可靠性高等优点而被广泛采用。文章在......
4. 《高精度数字压力传感器在测压系统中的应用》PDF+DOC 目前越来越多的飞行测试参数对精度的需求越来越高，针对这一问题，本文采用了一种新型的高精度数字式传感器，它可以直接输出数字量，传输过程中阻抗小，抗干扰能力强，能提高系统的可靠性、稳定性和整个采集系统的精度，还可以通过RS232串口接收命令和数据需求并返回所需数据，实现人机交互。...
5. 《为工业应用而设计的电容式传感器》PDF+DOC 在现代生产中，生产和加工设备对其所用的传感器提出了越来越高的要求.本文从实用的角度对传感器在恶劣条件下所具备的高精度、高可靠性对生产加工的重要性作了详细的介绍，并对电容式压力传感器的原理、结构、特点加以简单介绍。...
6. 《硅—兰宝石压力传感器及应用》PDF+DOC 介绍了一种具有灵敏度高、频响高、精度高、使用范围宽等性能十分优良的新型硅—兰宝石(SOS)压力传感器。目前，该传感器已在许多领域、环境，特别在恶劣环境下得到了广泛应用，深受用户欢迎。...
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8. 《p-型扩散层压阻效应的非线性》PDF+DOC 本文研究了沿{110}硅平面扩散的 P—型扩散层压阻效应的非线性。导出了包括较高级应力项并能定量处理压阻效应的表达式。发现第三级应力项足以给出说明该效应的良好近似值。使用具有10~(18)～10~(19)表面浓度扩散层的悬臂梁，用实验的方法确定出表达式系数。在张力和压缩力的情况下，悬臂梁纵轴与电流方......
9. 《硅电容压力传感器敏感器件的研究》PDF+DOC 研制的硅电容压力传感器芯体采用微机械加工技术，加工精度高，易于批量化生产。结构上采用对称的差动电容形式，并将其封装在专用基座中，适用于中、微压力的高精度测量，可用于目前通用压力传感器的升级产品。...
10. 《新型复合硅微传感器的设计》PDF+DOC 为了解决弹药武器系统的高温、高压、强冲击振动和紧凑设计条件的测试问题 ，提出了一种以半导体压阻效应、极间电容变化以及PN结温度效应为基本原理的加速度、压力与温度多参数硅微复合传感器 .介绍了复合传感器的工作原理、系统构成以及有限元分析仿真模型 .给出了传感器的微结构照片及其性能参数...