《高精度扩散硅压力传感器的温度补偿》PDF+DOC
作者:张秀珍,杨魁,马子龙
单位:成都市计量监督检定测试院
出版:《计量与测试技术》1997年第04期
页数:4页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFJLYS704.0050
DOC编号:DOCJLYS704.0059
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本文分析了扩散硅压力传感器的零点、零位温度系数及灵敏度温度系数三个基本参数并给出了温度补偿的计算公式。理论及实践均表明:采用此种方法补偿扩散硅压力传感器能满足高精度压力测量的要求。
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