《厚膜压力传感器》PDF+DOC
作者:马以武,常慧敏,戈瑜
单位:北京信息科技大学
出版:《传感器世界》1997年第03期
页数:6页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFCGSJ1997030020
DOC编号:DOCCGSJ1997030029
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厚膜压力传感器为新型应变式压力传感器.具有工作温度范围宽、耐腐蚀、蠕变小、漂移小、成本低廉、性能/价格比高等特点.本文介绍其设计原理、构造、工艺,并对厚膜应变电阻工艺与力敏特性的影响进行了讨论.此外,对传感器的主要性能指标及应用也作了必要介绍。
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