《热释电薄膜型红外传感器的制作》PDF+DOC
作者:高
单位:中国科学院上海技术物理研究所
出版:《红外》1996年第06期
页数:1页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFHWAI1996060090
DOC编号:DOCHWAI1996060099
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本专利介绍一种用于制作热释电薄膜型红外传感器的方法.这种制作方法是在一块衬底上实施的。先在衬底的顶部表面上固定一个预先已确定好厚度的下层电极(22),然后将一层热释电薄膜(24)放在衬底和下层电极的顶部表面的规定区域上,最后在热释电薄膜规定区域的上部固定一个上层电极(25)。这种制作方法的优点是,可以提高红外传感
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