作者：丁天怀,李源,冯冠平 单位：中国仪器仪表学会 出版：《仪器仪表学报》1996年第S1期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYQXB6S1.0110 DOC编号：DOCYQXB6S1.0119 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 大量研究表明，对于压力、加速度等物理量传感器，如果用压阻、压电或电容原理，则由于信号弱、后续电路复杂，使传感器易受电噪声、温度、磁场、辐射的干扰，精度极限一般在０．１％左右，很难再进一步提高。而硅谐振式传感器的精度主要受结构的机械特性的影响，即电漂移和噪声的影响是微乎其微的；加之由于通常采用频率测量，传感器与计算机的接口非常简单，避免了Ａ／Ｄ转换带来的附加误差，从而使得硅谐振式传感器的精度比压阻、压电或电容式至少高１０倍；而且性能更稳定，更便于集成化与微型化。所以成了当今国内外研究的热点，也是今后物理量传感器发展的一个重要方向。本文介绍了硅谐振式传感器研制中的若干关键技术，如常用激振拾振方法和先进的制作工艺。

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