《圆平膜压阻式力传感器的线性度与灵敏度分析》PDF+DOC
作者:吕惠民,田敬民
单位:信息部电子46所;天津市电子学会
出版:《半导体杂志》1997年第04期
页数:8页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFBDTZ704.0090
DOC编号:DOCBDTZ704.0099
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对圆平膜压阻式力传感器的线性度与灵敏度进行了比较详细地刨析。并通过计算,列举大量数据,指出影响压力传感器的线性度与灵敏度的因素及提高压力传感器的线性度与灵敏度的有效途径。
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