作者：夏善红,崔大付,韩泾鸿,陈绍凤,王利 单位：中国科学院上海微系统与信息技术研究所;中国材料研究学会 出版：《功能材料与器件学报》1996年第03期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGNCQ603.0090 DOC编号：DOCGNCQ603.0099 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 本文提出并研究了一种新型台阶阵列阴极真空微电子压力传感器。与平面阵列阴极真空微电子压力传感器相比，该传感器在扩展量程和提高灵敏度方面有较大的潜力。作者展示了计算机模拟计算结果和部分实验结果。

    📙 相关资料

    1. 《硅尖阵列-敏感薄膜复合型阴极真空微电子压力传感器特性的测试》PDF+DOC 封装、测试了硅尖阵列 -敏感薄膜复合型阴极的真空微电子压力传感器 ，在计算机模拟计算的基础上 ，对封装好的真空微电子压力传感器进行了实物测试 ，得出实物测试场发射电流曲线 (开启电压低 ，发射电流曲线与计算机模拟曲线一样 ，电压 45V时发射电流可达到86mA ，平均每个硅尖为...
    2. 《真空微电子传感器进展》PDF+DOC 概述了真空微电子传感器的现状，重点介绍了力敏、光敏、磁敏真空微电子传感器的工作原理及特点。...
    3. 《真空微电子传感器研究及进展》PDF+DOC 介绍真空微电子传感器的研究和发展概况 ，着重叙述了真空微电子压力传感器和真空微电子磁传感器的发展 ，并就其研究、发展和应用前景阐述了个人的观点。...
    4. 《阴极-敏感膜复合型真空微电子压力传感器研究》PDF+DOC 该文提出了“阴极-敏感薄膜复合”结构的新型真空微电子压力传感器，并研制出了“阴极-敏感薄膜复合”结构，对硅薄膜在外力作用下产生的形变及其应力分布进行了计算机模拟计算，并讨论了薄膜结构参数对其敏感特性的影响。...
    5. 《新型Spindt阴极阵列磁敏传感器的研究》PDF+DOC 提出了一种检测三维磁场的真空微电子磁敏传感器。该传感器采用Spindt阴极阵列作为电子源 ，阳极分为五个区域 ，以便检测发射电子在磁场作用下的偏移。通过不同阴极电压下电子束流的偏移量的差值 ，可求出器件所在位置磁场的三个分量。对传感器的灵敏度和误差进行了模拟计算 ，并研究了它们与阳极电压、阴 阳极间......
    6. 《金属尖阴极阵列制备的研究》PDF+DOC 】介绍了真空微电子中金属尖阴极的制备方法。给出了用二氧化硅凹模和硅Ｖ型模制备的金属尖的阴极照片，并比较了各自的特点。...
    7. 《新型真空微电子压力传感器特性研究和实验制作》PDF+DOC 本文提出并研究了新型的“台阶阴极”和“曲面阴极”真空微电子压力传感器，与普通的真空微电子压力传感器相比，新型传感器的阴极发射电流大大提高，使得输出信号易于检测，抗噪声能力增强，并在改善输出信号线性、提高灵敏度和扩展量程方面有很大优势．本文绘出了计算机模拟结果，简述了台阶阵列阴极和阳板压力敏感膜的制作......
    8. 《微型真空力敏器件的研究》PDF+DOC 本文首次用电荷模拟法计算了真空微电子力敏传感器的场致发射阴极与阳极间的电场分布，同时计算了&lt；100&gt；晶向的方形硅薄膜受压形变与压力的关系，进而得出了这种传感器的电流-压力曲线.还做了水槽模拟电场分布的实验，理论与实验符合的很好。...
    9. 《一种新型的锥尖制作方法研究》PDF+DOC 主要介绍利用反应离子腐蚀和等离子腐蚀相结合的方法制作真空微电子压力传感器中锥尖阵列。探讨合理选择制作材料，优化锥尖形状，锐化锥尖尖度，以提高传感器灵敏度，增大阴极锥尖的发射电流。测试结果表明：优化的锥尖发射电流在电压为3V时可达0.2nA，灵敏度为0.1μA/g。...
    10. 《真空微电子学的崛起》PDF+DOC 近年来，真空微电子学的发展引人瞩目，它的应用十分广泛，普遍认为真空微电子学是继真空管、集成电路之后电子学发展中又一新产业的标志，本文主要探讨真空微电子的发展背景。...

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。