《厚膜压力传感器的研究》PDF+DOC
作者:潘晓光,汤清华
单位:华中科技大学
出版:《华中科技大学学报(自然科学版)》1997年第05期
页数:3页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFHZLG705.0260
DOC编号:DOCHZLG705.0269
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用厚膜工艺制造压力传感器.研究了厚膜电阻浆料的电阻率与压阻系数的关系.承压基片选用ZrO2-Y2O33mol%增韧Al2O3陶瓷,大大地提高了压力传感器的性能.对承压片的应力分布进行了分析,介绍了压力传感器的结构设计方法
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