作者：陈宏,鲍敏杭,胡澄宇 单位：复旦大学 出版：《复旦学报(自然科学版)》1996年第05期 页数：7页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFFDXB605.0080 DOC编号：DOCFDXB605.0089 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《硅微结构加速度传感器空气阻尼的研究》PDF+DOC1995年第12期 陈宏,鲍敏杭 《新型双轴电容式微加速度传感器优化设计研究》PDF+DOC1998年第02期 刘泽文,刘理天,李志坚 《硅微加速度传感器过载能力的研究》PDF+DOC1996年第04期 陈宏,沈绍群,鲍敏杭 《硅微加速度传感器的现状及研究方向》PDF+DOC1995年第05期 费龙,钟先信,温志渝,高扬 《一种微机械压阻式加速度传感器及其设计优化》PDF+DOC2003年第Z1期 黄树森,郭南翔,黄晖,宋朝辉,李欣昕,王跃林 《高g值MEMS加速度传感器敏感元件的结构分析》PDF+DOC2002年第04期 宋萍,李科杰,石庚辰,卢四华 《一种高灵敏度硅压阻式加速度传感器的研究》PDF+DOC2001年第01期 朱目成 《MEMS器件常用微弱信号检测技术研究》PDF+DOC2010年第02期 杜晓强,吴柯锐 《高g值微机械加速度传感器的现状与发展》PDF+DOC2008年第04期 李世维,王群书,古仁红,刘君华 《曲面保护高量程加速度传感器阻尼特性研究》PDF+DOC2006年第09期 杨尊先,李昕欣,于映

    • 结合实际器件设计，对三种压阻式加速度传感器结构即双悬臂梁、四梁和双岛－五梁结构进行了详细的力学分析和特性比较，得到了理论计算的灵敏度、固有频率和阻尼等特性，器件的测试结果与理论计算值基本相符，目前三种结构的器件都已实用化，封装后的质量小于１ｇ．该项工作为实际应用中根据不同量程要求选取不同的器件结构与参数提供了依据．

    📙 相关资料

    1. 《硅微结构加速度传感器空气阻尼的研究》PDF+DOC 本文从理论上和实验上对硅压阻式加速度传感器的三种结构：悬臂梁、四梁和双岛－五梁的空气阻尼问题进行了研究．在这三种结沟中，四梁结构的质量块具有平行的运动方式，但是悬臂梁和双岛－五梁结构中的质量块既有平动又有转动，对这种非平动状态的空气阻尼的分析尚未见报道．本文从决定平板运动阻尼特性的Ｒｅｙｎｏｌｄｓ方......
    2. 《新型双轴电容式微加速度传感器优化设计研究》PDF+DOC 将ＩＣ工艺与ＬＩＧＡ工艺结合，在硅基上用镍材料制作高精度电容式双轴微加速度传感器。根据力学原理并结合所采用的工艺特点，对该器件结构进行优化设计，获得了较好的器件性能参数。结果表明，器件的静态电容为２．６ｐＦ，量程达&#177；５ｇ。该加速度传感器可同时测量Ｘ，Ｙ方向的加速度，最小可测量加速度......
    3. 《硅微加速度传感器过载能力的研究》PDF+DOC 过载能力是加速度传感器的重要参数之一，缺少过载能力是早期硅微机械- 岛结构的加速度传感器未能实用的重要原因.本文采用微机械限位结构解决了梁-岛结构压阻式加速度传感器的抗过载能力，并对设计进行了优化.采用这种方法使量程在50gn以下的器件具备了1000gn以上的过载能力，达到了实用的要求.本文还对测量......
    4. 《硅微加速度传感器的现状及研究方向》PDF+DOC 综述了典型的硅微加速度传感器的原理、结构和特性，分析了硅微加速度传感器中的几项关键技术和研究方向。...
    5. 《一种微机械压阻式加速度传感器及其设计优化》PDF+DOC 给出了一种新型的微梁直拉直压的微机械压阻式加速度传感器的工作原理。该设计能同时提高传感器的灵敏度和自由振动频率。基于分析模型 ，本文还给出了传感器的结构优化和各种量程的设计规则。采用SOI硅片和深反应离子刻蚀 (DRIE)工艺给出了传感器的制造和测试结果...
    6. 《高g值MEMS加速度传感器敏感元件的结构分析》PDF+DOC 介绍了几种高 g值 MEMS加速度传感器敏感元件的结构和原理 ，并对其结构特性进行了分析 ，最后给出了研究过程中所采用的圆膜片结构和仿真结果。...
    7. 《一种高灵敏度硅压阻式加速度传感器的研究》PDF+DOC 介绍一种高灵敏度硅压阻式加速度计的工作原理、结构、工艺技术及测定方法 ；通过分析和实践 ，得到了能提高加速度传感器输出性能的有价值的结论。...
    8. 《MEMS器件常用微弱信号检测技术研究》PDF+DOC 文章针对微机械(MEMS)器件中常用的微弱信号检测技术进行了简单的介绍。针对MEMS器件中微弱信号检测所使用的理论方法进行了总结分析，并提出了一些典型、实用的MEMS微弱信号检测电路。...
    9. 《高g值微机械加速度传感器的现状与发展》PDF+DOC 本文对用于侵彻武器和爆炸现场测量的高g值加速度传感器进行了四顾与展望。重点介绍了采用微机械工艺的高g值微加速度传感器。首先分析了目前几种新型压阻式和电容式高g值硅微机械加速度传感器的基本工作原理，主要技术指标和敏感元件的结构特点，讨论了几种用于制作高g值微加速度传感器的新型材料和工艺。最后总结了高g......
    10. 《曲面保护高量程加速度传感器阻尼特性研究》PDF+DOC 利用有限元模拟方法，对一种高量程MEMS加速度计进行10万g正弦加速度脉冲下的动态冲击响应分析。首先，建立适用于该器件曲面阻尼的分段近似叠加理论模型；随后，采用ANSYS有限元模拟技术分别研究器件阻尼带隙宽度及其阻尼介质特性对器件动态冲击响应特性的影响。器件动态冲击响应实际上是受迫振动与传感器悬臂梁......

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。