作者：孙冰,田丰,汪鹏,高金雍 单位：北京信息科技大学 出版：《传感器世界》2015年第10期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGSJ2015100040 DOC编号：DOCCGSJ2015100049 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 简单介绍了掺TiO_2的SnO_2薄膜丙酮气敏元件的制作，重点分析不同的掺杂溅射镀膜时间、不同加热电压对灵敏度的影响。对不同有机蒸气进行选择性测试，发现掺TiO_2的SnO_2薄膜气体传感器对丙酮有很高的灵敏度，而且输出信号与丙酮气体浓度成正比，浓度低至100ppm也可检测试出来。测定了元件的工作温度与加热电压的关系，发现加热电压为6~7V，相当于元件的工作温度为250~300oC时，对不同气体的灵敏度都很高。

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