《大有作为的硅微传感器》PDF+DOC
作者:马天方
单位:美国国际数据集团
出版:《电子产品世界》1996年第06期
页数:1页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFDZCS606.0000
DOC编号:DOCDZCS606.0009
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大有作为的硅微传感器微(机械)加工技术的问世。把传感器推向一个新的发展阶段,传感器已从昨天的笨重机械结构发展成用传统半导体加工技术制作的硅集成智能器件。可以认为,硅传感器将取代机械传感器.而且将开辟目前用机械传感器不可能开辟的崭新市场。同机械传感器相..。
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