《提高汽车性能的微加工传感器》PDF+DOC

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4. 《压力传感器的研究现状与发展趋势》PDF+DOC 论述了压力传感器的研究现状和发展趋势。列举出大量数据及有关参数，为从事压力传感器研究的科技工作者提供一些参考。...
5. 《半导体压力/差压变送器发展动向》PDF+DOC 本文介绍了国内外压力/差压变送器的发展动向。文中详细介绍了各类三膜片式差压变送器的结构和工作原理。由于IC技术的迅速发展，压力/差压变送器将进一步集成化、智能化，本文对这方面的研究现状也作了简要的阐述。...
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10. 《微机电系统技术的研究现状和展望》PDF+DOC 微机电系统(MEMS)是由微加工技术制造的微型传感器、微型执行器及集成电路组成的器件或系统。介绍了MEMS技术的研究背景和发展历程，着重阐述了微机电系统的核心技术和商业应用，其中特别提到了单芯片系统方面的前沿研究，最后就MEMS技术的前景和研究方向进行了探讨和展望。...