作者： 单位：中国科学器材公司 出版：《现代仪器与医疗》1997年第02期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFXDYI1997020080 DOC编号：DOCXDYI1997020089 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 1.简介 MEMS(微型电机系统)自八十年应用于医疗业，在各种硅压力传感器、加速度传感器和微结构应用中发挥作用。MEMS器件与其他器件相比有许多优点，它的尺寸小，性能可靠，价格便宜。硅是MEMS器件结构加工的常用材料，用于生产硅电子元件的大多硅片加工设备可以用来生产硅传感器件。硅的弹性十分完美，它不会象其他原理的产品那样随时间的推移而发生屈变或形变。这使它很适合依赖于传感器输出的医疗应用。

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